精度方面直線電機因傳動機構簡單減少了插補滯后的問題，定位精度、重現精度、絕對精度，通過位置檢測反饋控制都會較“旋轉伺服電機 滾珠絲杠”高，且容易實現。直線電機定位精度可達0.1μm.“旋轉伺服電機 滾珠絲杠”最高達到2~5μm，且要求CNC-伺服電機-無隙連軸器-止推軸承-冷卻系統-高精度滾動導軌-螺母座-工作臺閉環整個系統的傳動部分要輕量化，光柵精度要高。若想達到較高平穩性，“旋轉伺服電機 滾珠絲杠”要采取雙軸驅動，直線電機是高發熱部件，需采取強冷措施，要達到相同目的，直線電機則要付出更大的代價。

　　速度方面直線電機具有相當大的優勢，直線電機速度達到300m/min，加速度達到10g;滾珠絲杠速度為120m/min，加速度為1.5g.從速度上和加速度的對比上，直線電機具有相當大的優勢，而且直線電機在成功解決發熱問題后速度還會進一步提高，而“旋轉伺服電機 滾珠絲杠”在速度上卻受到限制很難再提高較多。

　　壽命方面直線電機因運動部件和固定部件間有安裝間隙，無接觸，不會因動子的高速往復運動而磨損，長間使用對運動定位精度無變化，適合高精度的場合。滾珠絲杠則無法在高速往復運動中保證精度，因高速摩擦，會造成絲杠螺母的磨損，影響運動的精度要求。對高精度的需求場合無法滿足。